自动显影机主要用于硅片的显定影工艺,硅片自动移料,带有烟感报警器,自动灭火系统。
主要技术参数:
1、 规格:4、5、6、8寸,一次2-4盒
2、 自动进液,自动放液。
3、 自动移料,PLC+触摸屏全自动控制
4、 计时、计次、报警。
5、 每个槽带有提拉功能。
6、 管路、阀门全部采用PFA材质。